产品总体要求:采用先进的镀膜工艺,追求性价比最优、可靠性高,有自己的特色,设计出的产品要能适应工业生产的要求,设备美观、性能可靠。产品主要应用领域是小型塑化零部件表面表面处理。
主要参数
项目 |
ZDJ-F1500 |
极限压力 Pa |
≤1×10-3Pa(空载) |
静态漏放气率 Pa.L/s |
≤0.5 Pa.L/s |
二次恢复真空时间 min |
≤7 min |
低真空抽气时间 min |
≤6 min |
工作真空度 Pa |
2×10-2Pa |
磁控靶功率 kVA |
120kVA 带载1000V |
离子轰击源功率 kVA |
25kVA |
设备总功率 kVA |
200kVA |
总需水量m3/h |
8 m3/h |
气源进口气压 M Pa |
≥0.6 M Pa |
总重量 t |
主机14t; |
外形尺寸 m |
主机:7.2×5.4×3.33m
工件转盘:φ750mm |
工件架转速 r/min |
0~6 r/min |
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